Сверхточный MEMS Акселерометр

ER-MA-6
1.Большой диапазон измерений, сверхвысокая точность, высокая надежность и низкое энергопотребление;
2.Нелинейность второго класса:<10µg/g2;
3.Стабильность смещения (плавность хода 1 с): <5ug;
4.Нестабильность смещения (кривая Аллана): <2ug.

поделиться с:

Вступление

Сверхточный MEMS-акселерометр

Вступление
MEMS Акселерометры (MICro EleCTRo Mechanical Systems) - это акселерометры, изготовленные с использованием технологии MEMS. Благодаря использованию технологии микроэлектромеханических систем, их размер значительно уменьшен, и размер MEMS-акселерометра составляет лишь часть размера ногтя. Преимущества MEMS-акселерометров заключаются в небольших размерах, легком весе и низком энергопотреблении. ER-MA-6 - это инерционный датчик, который может измерять линейное ускорение, вызванное действием силы тяжести. Этот продукт представляет собой MEMS-акселерометр с большим диапазоном, сверхвысокой точностью, высокой надежностью и низким энергопотреблением.

Особенности
Большой диапазон, сверхвысокая точность, высокая надежность и низкое энергопотребление
Нелинейность II класса; <10µg/g2
Стабильность смещения (1 с плавного хода) (1σ): <15ug
Стабильность смещения (1 с плавного хода): <5ug
Нестабильность смещения (кривая Алана):<2ug

Приложения
Инерциальные измерения: инерциальное наведение, измерение перегрузки, интегрированная навигация
Измерение наклона: положение антенны, измерение платформы, проверка угла наклона
Измерение вибрации: механическое оборудование, мосты и плотины, испытания на безопасность

Технические характеристики

Параметры	Акселерометр	Единица измерения
Модель продукта	ER-MA-6
Инкапсуляция	CLCC48
Ось	Y
Диапазон	60	g
Нелинейность шкалы коэффициентов	<500ppm	ppm（IEEE Norm , of full scale）
Полоса пропускания (регулируется)3db	>150	Hz
Групповая задержка	<3	ms
Нелинейность второго класса	<10	µg/g2
Шум	<30	µg/√Hz @1hz
Пороговое значение	<30	µg
Фабрика Смещение (комнатная температура)	<±1	mg(Room temperature calibration value)
Смещение заводской температуры смещения	<±0.5	mg
Гистерезис температуры заводской смещения	<0.2	mg
Смещение после получения компенсации	<±0.15	mg
Стабильность смещения (1s smooth) (1σ)	<15	ug
Стабильность смещения(1s smooth)	<5	ug
Нестабильность смещения (Allan Curve)	<2	ug
Повторяемость по месяцам смещения	<±0.03	mg
Повторяемость 1σ	<10	ug
Масштабный коэффициент	20000000	lsb/g(Room temperature calibration value)
Повторяемость масштабного коэффициента по месяцам	<±20	ppm
Температурный коэффициент шкалы	<40	ppm/°C
Масштабный коэффициент после компенсации	<100	ppm
время начала	<500	ms
Частота дискретизации (регулируется)	>10K	Hz
Шок (заряженный)	300	g
Шок (неизведанный)	300	g
Вибрация	18	g
Рабочая температура	-40~+85	°C
подача напряжения	5±0.25	V
Текущий	<30	ma
Интерфейс	SPI